实验室管理者 发布于 2019-08-19 21:08:33
半导体检测概论——旨在控制系统损失
广义上的半导体检测设备,主要包括工艺检测(在线参数测试)、晶圆检测(CP测试)、终测(FT测试),国内公司目前主要涉足于晶圆检测和终测环节,这两个环节的检测设备价值量约占整体半导体制造设备投资的9%左右。检测设备相对于中前道的光刻、刻蚀设备来说,绝对制造技术难度相对低,国产厂商更容易突破,但由于涉及到度量衡标准,因此品牌壁垒,以及推广难度还是较高的。
半导体检测贯穿整个半导体制造过程,可避免制造损失的指数式增长。随着半导体技术的迅速发展,行业设计能力和制造能力都有了很大的提高,这一方面使得半导体实现的功能日益强大,另一方面其内部结构的复杂度也不断提高,检验测试面临越来越多的挑战。半导体检测贯穿整个半导体制造,从设计验证到最终测试都不可或缺,按照电子系统故障检测中的“十倍法则”:如果一个芯片中的故障没有在芯片测试时发现,那么在电路板(PCB (
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