雨映荷 发布于 2020-10-02 09:37:39
什么是光刻胶?
要知道什么是光刻胶就必须知道什么是光刻,光刻是集中电路制作中的一道重要工序,并且是整个集成电路制造过程中耗时最长、难度最大的工艺,也是最核心的工艺。耗时占IC制造50%左右,成本约占IC生产成本的1/3。光刻胶是光刻过程最重要的耗材,光刻胶的质量对光刻工艺有着重要影响。换句话说光刻的质量效果如何取决于光刻胶的质量,也可以说光刻胶是集成电路行业最重要的产品之一。
光刻胶是由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成份组成的对光敏感的混合液体。利用光化学反应,经曝光、显影、刻蚀等工艺将所需要的微细图形从掩模版转移到待加工基片上的图形转移介质。按照应用领域分类,光刻胶主要包括印制电路板(PCB)光刻胶专用化学品(光引发剂和树脂)、液晶显示器(LCD)光刻胶光引发剂、半导体光刻胶光引 (
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