中国证券报 发布于 2021-07-14 07:57:47
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国产半导体设备领域传来捷报。
7月13日,上海精测半导体官宣,国内首台12寸独立式光学线宽测量设备(OCD)与国内唯一12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备(Review SEM)顺利出机。
图片主要用于45nm以下、特别是28nm平面CMOS工艺的量测,并可以延伸支持上述先进工艺节点的快速线宽测量。
图片已取得国内一线客户的批量重复订单、OCD量测设备已取得订单并已实现交付,半导体电子束检测设备eView™全自动晶圆缺陷复查设备已正式交付国内客户。其余储备的产品目前正处于研发、认证以及拓展的过程中。
上海精测半导体是精测电子半导体检测业务的重要实施载体之一。精测电子预计2021年部分半导体产品线实现扭亏,但整体半导体业务实现盈利仍需要更多时间和努力。
2020年,上海精测半导 (
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