yefcdepk 发布于 2021-06-19 14:17:50
6月10号上海光刻机所取得重要进展,14日起媒体上陆续发布:
根据外媒最新的报道,上海微电子全新一代光刻机预计在2021年年底或2022年初量产下线,其采用与ASML DUV光刻机相同的光源技术,不过是国产的。 这种光源其实是科益虹源研发的,能够用在DUV设备上 。
也就是说,上海微电子的全新一代光刻机能够用于生产制造28nm到10nm之间的芯片,甚至可以采用多层曝光技术生产7nm芯片。
虽然ASML的光刻机技术先进,但上海微电子的光刻机占领了国内八成以上的市场,国产新一代光刻机下线后,ASML在国内的市场自然会进一步缩小。EUV光刻机不能自由向中国出货,DUV光刻机又被国产光刻机冲击,ASML自然会与最大的市场失之交臂。届时,或许就真如其总裁所说,15年后,ASML在国内市场就没有份额了。
参股上海微电子的:张江高科
科益虹源相关的:东方中科 (
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