【行业观察】ASML澄清与中芯国际交易：EUV与DUV光刻机一字之差大不同

近日，中芯国际与ASML达成12亿美元交易购买晶圆生产设备的消息引发关注。针对双方此次合作，有媒体报道称“除了 EUV 光刻机，中芯国际几乎可以买到其他所有型号的光刻机。”但是这一说法很快被ASML官方澄清，该协议与DUV光刻技术的现有协议相关。
可能很多网友看到这里有点蒙圈，这绕来绕去的到底是玩的什么文字游戏。这里先进行一个小科普，EUV和DUV到底有啥区别呢？EUV也就是“极深紫外线”的意思，而DUV是“深紫外线”的意思，通过字面就知道EUV看上去就比DUV高级，实际上也是如此。
一般来讲，DUV基本上只能做到25nm，Intel凭借双工作台的模式做到了10nm，但是却无法达到10nm以下。只有EUV能满足10nm以下的晶圆制造，并且还可以向5nm、3nm继续延伸。事实上EUV光刻机的出现，确实是帮助业界突破7nm制程的一个关键。

就产业链来说，此次 ( 点击阅读全文 )

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