中微尹志尧：不注重设备、材料，半导体产业将会是“瘸腿”产业

集微网消息（Aki） 在9月4日的半导体产业创新论坛上，中微半导体设备（上海）有限公司董事长兼首席执行官尹志尧谈到当前半导体设备产业的发展时指出，这一产业当前最大的难点就是周期性特别长。尹志尧指出，在他看来，人类的工业革命实质是只有两次，其中，第二次工业革命是五六十年前从美国硅谷开始的以电脑代替人脑，以微观器件代替人的各种感官的革命。而在此基础上发展起来的数码产业预计到2020年会占全球企业总产值的40%以上。但是值得注意的是，作为数码产业的基础，半导体设备的年产值已经达到500亿美元，半导体制造年产值已经达到5000亿美元。同时，随着数码产业的发展，在过去的60年中，电子产业也已经从最初的电子管计算机发展到了智能手机，微观器件的面积也随之缩小了一万亿倍。
在尹志尧看来，半导体设备的创新和进步是实现万亿倍缩小的关键，而最重要的是加工微观结构的光刻机和等离子刻蚀机。以等离子刻蚀机为例， ( 点击阅读全文 )

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