大树的格局 发布于 2021-02-14 10:57:35
刻蚀机龙头——中微公司
中微公司成立于2004年,是一家以中国为基地、面向全球的高端半导体微观加工设备公司,深耕芯片制造刻蚀领域,研制出了国内第一台电介质刻蚀机,是我国集成电路设备行业的领先企业。公司介质刻蚀设备国内最先进,并达到国际一线水准,产品已进入世界领先晶圆制造企业5nm产线。硅刻蚀、金属刻蚀已进入客户端验证阶段。
在刻蚀领域,主要分为CCP(电容等离子体)和ICP(电感等离子体)两大类设备,从20世纪80年代以来,CCP一直是主要技术,公司的电容性刻蚀设备的全球市场份额占比约在1.4%左右。中微公司既生产CCP又生产ICP,主要覆盖CCP设备,而北方华创仅生产ICP设备。中微公司量产设备已进入全球最先进的5nm先进制程产线,全面覆盖台积电、SK海力士等海外及台湾地区客户,以及长江存储、中芯国际、华力微电子等大陆客户;而北方华创ICP设备刚突破14nm技术,客户 (
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