来源：招商策略研究
新冠疫情对于社会正常生产、生活形成了较大影响，然而半导体集成电路制造行业由于其生产流程的特殊性，受到的影响相对较小（不考虑物流运输、封测等环节）。春节期间，位于武汉的长江存储、武汉新芯仍在正常运转，而这主要是由于集成电路制程的日益精细、复杂化，对厂区的洁净度、隔离一贯的高要求。同时，先进制程的发展也对生产过程中的清洗环节提出了更高的要求。本篇报告主要介绍集成电路清洗工艺以及相关设备，并关注由存储芯片等下游市场回暖带来的清洗设备国产化机会。重点推荐关注清洗设备进口替代领先企业——至纯科技。
1、存储器行业价格反弹，国产存储器厂商产能爬坡，行业有望进入景气周期。经过一年多的低迷后，NAND和Dram价格均在19年年末止跌回升，全球行业景气度回暖有望重新带动资本开支。而国内的主流存储器厂商，2020年也将迎来持续产能爬坡，有望进一步带动设备采购。
2、半导体清洗制程工艺节点演变，清洗设备要求不断提升。清洗设备是贯穿半导体产业链的重要环节，避免杂质影响成品质量和下游产品性能，在单晶硅片制造、光刻、刻蚀、沉积等关键制程及封装工艺中均为必要环节。随着集成电路制程工艺节点越来越先进，对清洗环节也提出了新要求，重要性日益凸显，清洗步骤约占整体步骤的33%。
3、国内清洗设备公司任重道远。根据我们测算，半导体清洗设备年市场空间30亿美元以上，其中国内市场15-20亿美元。目前行业绝大部分份额被迪恩士、泛林等海外巨头垄断，但近年来国内的清洗设备企业发展也非常迅速，通过人才引进，设立海外子公司，加强研发等方式，龙头至纯科技、盛美等也逐渐进入了国内、国际一线半导体生产公司。随着国产半导体制造企业对于设备国产化要求的提升，我们认为清洗设备有可能成为最先大规模国产化的半导体生产设备品类。
相关公司及投资建议。至纯科技自2015年进入半导体清洗设备领域以来，已经切入了中芯、万国、燕东、TI等半导体领先企业，并与国产存储器核心企业保持了密切合作关系，预计2020年单片清洗设备将放量，给予重点推荐。
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